各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。
ローダ部にカセット(各規格対応)を積載し、水平搬送ロボットアームにより自動で取り出し、プレアライメント(ノッチ検出)を経て印刷を行い、再びカセットに収納します。半田バンプやポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で行えます。オプションでFFUの設置も可能です。
印刷寸法 | 8インチウエハ、6インチウエハ |
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版枠寸法 | 550 mm x 650 mm 外寸 |
印刷機部 画像認識 (二値化/パターンマッチング) |
位置合わせ方式 位置合わせ精度 ±10μm |
スクリーンサイズ | 550 mm × 650 mm |
スキージ印圧制御 | 垂直フロート型エアバランス方式 |
スキージ駆動 | ULVD(超低振動駆動)方式(PAT.P) |
プレコンタクトスキージ標準装備(PAT.P)
用途・ご予算に応じ、
各種オプション・改造承っております。
スクリーン印刷機について
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