新規技術によるSiGe層高速エピタキシャル手法
Al-Geペーストとスクリーン印刷によるAl液相を介した膜厚SiGe層形成手法
【Special Thanks：東洋アルミニウム株式会社様、大阪大学様】
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マイクロ・テックのスクリーン印刷機
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スクリーン印刷機について
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