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烘干炉

生陶瓷片用隧道炉

加热生陶瓷片或硬质陶瓷等料片,对打印于料片上的导电浆料等进行烘干的设备。

セラミックグリーンシート用コンベア乾燥炉.png
  • 热风循环式
  • 传送带搬送
  • MAX200℃

硅片用烘干炉

可对传送节拍快·烘干时间长的硅片进行竖放搬送的轻便式烘干炉。

シリコンウエハ用乾燥炉.png
  • 热风循环式
  • 托盘搬送
  • MAX200~230℃

箱式炉

除小型恒温炉外,还可对应需收纳烘干架的大型炉。

シリコンウエハ用乾燥炉.png
  • 热风循环式
  • 架投入式
  • MAX200℃



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